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真空泵选型注意事项
2021年02月23日

  一般在选型时,需要注意到以下事项:

  1. 过程所需的真空度

  真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。选择时的真空度应比真空设备的真空度高一半至一个数量级。

  例如,

  真空过程要求真空度为100帕(绝对压力),真空泵的真空度至少应为50帕-10帕。

  真空镀膜要求1×10^-5mBar的真空度,选用的真空泵的极限真空度应≤5×10^-6 mBar。

  2. 正确地选择真空泵的工作真空度

  一般来说,如果要求绝对压力高于3300帕,水环真空泵是首选的真空装置。如果要求绝对压力低于3300帕,则不能选择水环真空泵,选择旋叶真空泵或真空度较高的真空泵作为真空获取装置。

  真空泵在其工作压强下,应能在规定的时间内排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量,这就需要在一定程度上考虑真空泵在带有负载的前提下的抽气速率。

  3. 工艺对提取率的要求(提取率)

  真空泵需要泵送速率(即真空泵在其工作压力下排出气体、液体和固体的能力)。当然,真空泵的选择是一个综合的过程,涉及到相关的经验和其他因素。

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  4. .确定要泵送的物体的成分

  第一,被泵送的物体是气体、液体还是粒子。如果要泵送的气体含有水蒸气或少量杂质,如颗粒和灰尘,应仔细选择旋转叶片式真空泵。如果要求真空度高,在旋叶式真空泵用作真空获取设备之前,应增加一个过滤装置进行过滤。根据所抽介质地不同,有选择性地选用真空泵。若一种泵不能满足抽气要求进,也可考虑多种泵组合起来的方式。

  第二,有必要知道泵送的物体是否被腐蚀(酸性或碱性,酸碱值是多少?),如果气体中含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素,则应进行过滤或中和,以选择旋叶真空泵。

  第三,被泵送的物体被橡胶或油污染了吗?应为不同的泵送介质选择相应的真空设备。如果气体中含有大量的蒸汽、颗粒和腐蚀性、毒性等气体,应考虑在泵的入口管道上安装相应的辅助设备,如冷凝器和过滤器。如果是有腐蚀性气体,那么泵的腔体材料应该选用防腐蚀材料;如果是带毒性气体,真空泵还需要考虑泄露率的问题,以避免毒性气体泄漏而造成工业事故。含可凝蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,也可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

  5. 真空设备对油污染的要求

  若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵。

  如:水环泵、无油旋片泵、无油螺杆泵等,如果设备对水蒸气、粉尘等也有严格要求时,就要选择无油干泵,比如涡旋干泵、螺杆干泵、分子泵等。如果要求不严格时,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

  6. 成本因素

  真空泵的成本应考虑一次性的采购成本以及综合使用成本。一次性成本,包括真空泵本身的成本、周边管路配套的成本;综合使用成本,包括日常运行维护成本、维修和维护费用以及使用寿命成本。

  7. 其他特殊要求

  主要包括,交直流电源、功耗、重量、体积、电控、散热、气体管路连接、噪音以及各行业针对性的要求.